1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. ピラニー真空ゲージ　アルバック製　GP-2A-[M220117A04]

  6. 真空ゲートバルブ　アルバック製（ulvac）VUGP-40

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　Model.1020-[M230725A02]

  10. スピンコーター　ミカサ製　MS-A100-[M230703A01]

  11. ディスペンサーコントローラー　岩下エンジニアリング　AD9000 – [M220308A14]

  12. エアーサンプラー（エアーダストサンプラー）　メルク製　MS-100 -[M190228A05]

  13. 卓上クリーンベンチ　湯山製作所製　YS-BA-702 -[M230502A01]

  14. 安全キャビネット　日立製　SVC1908ECⅡA2 -[M230601A03]

  15. 恒温槽　ナガノサイエンス製　CH43-15P-[M220314A72]

  16. 恒温恒湿槽　エスペック製　PSL-2KPH-[M220408A01]

  17. 恒温恒湿槽　エスペック製　PSI-2FP-[M220607A41]

  18. 恒温恒湿槽　エタック製　TH411A-[M221014A01]

  19. 低温恒温槽　エスペック製　MC-710T-[M230531A02]

  20. 防爆オーブン　エタック製（ETAC/楠本）HT-220S-[M230531A05]

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