1. YAGレーザーシステム　Litron製　Nano-L 200-20-[M230314A11]

  2. 放電加工機　パナソニック製　MG-ED82W-[M23014A14]

  3. ミストコレクター　赤松電機製（onikaze）　HVS-40 000-[M230314A20]

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 金型温調器　カワタ製　TWF-05006HHDN-[M230317A02]

  6. ドライポンプ　EBARA（荏原製）A07V-[M220408A08]

  7. ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

  8. ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M230411A01]

  11. 恒温槽　エタック製（楠本製）TL-N001L-[M230309A02]

  12. 恒温槽（乾燥機・オーブン）エスペック製PH-400-[M220904A01]

  13. 電気炉（マッフル炉）ヤマト科学製 FO410-[M230118A01]
  14. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製
    型式：NCP-400 （M210108A04）

  15. チラー（冷却水循環装置）オリオン機械製 RKS752J-MV-00000-[M210320A13]

  16. コンプレッサー（オイルフリー）アネスト岩田製
    SLP-37EBD-S5 [M221201A03]

  17. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  18. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA – [M220702A01]
  19. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ　アルバック製
    型式：DIS-500
  20. robot

    多関節産業ロボット（6軸）デンソー製 型式：VP-6556-GM-B-CN

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