株式会社未来産業技術研究所
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-151/EI-151G(コ…