株式会社未来産業技術研究所
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式：V…
バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED220…
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
真空蒸着／スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
