メーカー：ULVAC アルバック製 型式：LR90
排気速度：1860/2100 L/min（50/60Hz）、112/126 ㎥/h
到達圧力：5.0Pa
ドライポンプの主な使用用途は、半導体製造ラインや食品加工ラインなど、さまざまな科学分析装置などです。これらの用途では、利用環境への汚染を避けなければなりません。ドライポンプは排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長であることから、クリーンな環境が求められる用途に対しては、ドライポンプが適しています。
高真空度が必要な場合には、ターボ分子ポンプやイオンポンプなどと組み合わせて利用します。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・大亜真空・アンレット
キーワード（品名）：スクロールポンプ・ダイアフラム式真空ポンプ・ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ・クライオポンプ
