pump
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ターボ分子ポンプ セイコー精機 STP-451-[M240717A02]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG220FCAB-[M241210A10]
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS602
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231212A02]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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ロータリーポンプ アルバック製
型式:GLD-136A (M201204A04) -
ターボ分子ポンプ ファイファー製(PFEIFFER)
型式:TMU521 -
ドライ真空ポンプ(空冷式)荏原製作所製
型式:PDV250 -
クライオポンプ アルバック製
型式:CRYO-U22H (M210108A34)