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スクロールポンプ・アルバック（Ulvak）・DIS-501
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スクロールポンプ・エドワーズ（Edwards）・XDS35i
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ターボ分子ポンプ・ファイファー（PFEIFFER）・TMU261
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ターボ分子ポンプ・ファイファー（PFEIFFER）・TMU521
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カーボンコーター（CARBON COATER）・日本電子（JOEL）・JEC-520
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オートファインコーター（AUTO FINE COATER）・日本電子（JOEL）・JFC-1600
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凍結乾燥装置（Freeze Drying Device）・日本電子（JEOL）・JFD-310
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オートファインコーター（AUTO FINE COATER）・日本電子（JEOL）・JFC-1300
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ロータリーポンプ（油回転真空ポンプ）・アルバック（Ulvac）・GHD-030
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スクロールポンプ・アルバック（Ulvac）・DIS-251