1. スクロールポンプ　エドワーズ　ESDP12-[M240604A06]

  2. 電気炉（マッフル炉）アドバンテック東洋　FUL230FA-[M240819A01]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-150000A-V　[M240629A02]

  4. 真空グローブボックス　高杉製作所　G-85-MV [M240801A01]

  5. SEM 走査型電子顕微鏡　3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡　キーエンス　VE-9800 [M240210A03]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-10　 [M240702A02]　　　　　　　　　　　　　

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231212A02]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701S-[M240524A01]

  9. エアーシャワー　オリエンタル技研　CSA-100A-[M231212A08]

  10. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  11. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]

  12. 高速冷却遠心機　SAKUMA製　M201-IVD-[M240209A13]

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