防振台

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
2024年7月
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