株式会社未来産業技術研究所
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…