株式会社未来産業技術研究所
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG1003VW/TC1003(コ…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
恒温槽 エスペック PH-402
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…