半導体製造装置
半導体製造装置全般、電子デバイス製造装置全般
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-1150 R…
メーカー：ORIENTEC（オリエンテック）型式：STA-1150最大荷重容量：500N 有効ストローク：550mm クロスヘッド速度：0.5~50…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
メーカー：カイジョー 型式：HCW-202-25Rこちらの超音波洗浄は、半導体部品の洗浄などの産業分野でも使用されています。使用…
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イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
イオンスパッタ 蒸着機 スパッタ装置 成膜装置メーカー：日立 型式：E-1030スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表…
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液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
液晶重ね合わせ装置 貼り合わせ装置 ODF装置メーカー：中央精機 型式：LCM-ST試料サイズ：6"×6"（150×150mm）面厚：0.3mm…
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露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
露光装置 アライナー UV露光装置 クリーン仕様メーカー：日本電池 型式：MAN250NLJ/MRL250SM露光出力（発光長）：4kW（25…
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エリプソメーター GAERTNER L115 D
エリプソメーター エリプソ 半導体ウェハメーカー：GAERTNER（ガートナー） 型式：L115 D試料サイズ：max. 6インチ干渉計…
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プラズマクリーナー サムコ PC-300
プラズマクリーナー RIE PE反応性イオンエッチング プラズマエッチングメーカー：samco サムコ 型式：PC-300⌀8インチウ…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製（JOEL）…
オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600
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連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
連続式リフロー炉 はんだリフロー 加熱コンベアメーカー：グローバル 型式：AFD-101A常用温度：250℃迄リフロー炉はユニッ…
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
ウェハマウンター テープマウンター フィルムマウンター メーカー：日東電工 型式：M286N適用フレームサイズ：8インチ／6…
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スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
スピンコーター レジスト塗布装置メーカー：アクティブ 型式：ACT-220AⅡ基板サイズ：Φ5～Φ100mm回転速度：0～7000rpmスピン…
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ダイサー ディスコ DAD522
ダイサー ダイシングソーメーカー：ディスコ Disco 型式：DAD522最大ウェーハサイズ：6インチ（φ152.4mm）ダイシングとは、…
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スピンコーター エイブル ASS-303
スピンコーター レジスト塗布装置メーカー：エイブル 型式：ASS-303半導体ウエハ、ガラス基板、各種平面サンプルフォトレジ…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジョン UV-31…
紫外線オゾン洗浄装置 - UV-O₃洗浄装置 - UV照射機メーカー：テクノビジョン 型式：UV-312照射範囲：308mm x 308mmUV（紫外…
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M2…
メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。コーティング…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]…
メーカー：AD-TECH（アドテック） 型式：APR Series高周波電源／RFプラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
メーカー：IDX（現AD-TECH） 型式：IMG-2503S高周波電源／プラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や液晶製造…
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イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020
イオンスパッタ 蒸着機 スパッタ装置 成膜装置メーカー：日立 型式：E-10202 極対向電極とターゲットの両用をそれぞれ独…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
ターボ分子ポンプ ハイブリッドベアリングシステムステージ型ロータースタック（2）／モジュール式排気ステージ（2）各ステ…
