マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A07]



露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネルディスプレイ (FPD) の製造現場で主に使用されます。半導体製造工程の場合、シリコンウェーハを基板とし、酸化膜などを形成したのち、フォトレジスト (感光材) を塗布し、塗布面に対して露光装置から出射した強い紫外光をフォトマスクを介して照射することで、不要な部分をエッチングなどで取り除けるようにします。露光装置を用いたこのような方法は、フォトリソグラフィと呼ばれます。液晶ディスプレイ製造工程の場合、一般的にはガラス基板を用い、金属などの薄膜の成膜、フォトリソグラフィ、およびエッチングを数サイクル繰り返します。


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キーワード(メーカー)ニコン・アドテック・ウシオ・キャノン・ニコン・菱光社・京セラ・ナノシステム・ユメックス
キーワード(品名)マスクアライナー・半導体ウェハー・ガラス基板・プリント基板・フォトマスク・レジスト・エッチング

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