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エッチング装置
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ドラフトチャンバー ダルトン製<br>型式:DFV-12DK-12AAT
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電離真空計(イオンゲージ) アネルバ製<br>型式:M-822HG (M2101…
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溶存酸素計(BOD/OUR/SOUR Meter)HANNA 製<br>Instruments 型式:…
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ターボ分子ポンプ セイコー精機製<br>型式:STP-251S (M200410A02…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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樹脂材料タンク 松井製作所製<br>型式:TA-95L (M201223A02)
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イオンクロマトグラフ TOA製<br>型式:IA-100、ICA-5450 (M210505A…
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耐電圧試験機 菊水電子工業製<br>型式:TOS8700 (M210114A11)
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スパッタ装置(マグネトロンスパッタ)日本電子製<br>型式:JUC-500…
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スクロールポンプ エドワーズ製<br>型式:ESDP12 (M210114A18)
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)