株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：ANELVA（アネルバ）　型式：SPF-430H

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基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能

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キーワード（メーカー）サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード（品名）プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理

• sputtering, sputter

イオンスパッタ装置　真空デバイス製　MSP-1S-[M221221A05]

ヘリウムリークディテクター　島津製作所　MSE-3200R-[M211218A01]

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