スパッタ装置(RFスパッタ)アネルバ製(ANELVA)SPF-430H-[M221028A01]


メーカー:ANELVA(アネルバ) 型式:SPF-430H


基板サイズ:小片~最大4インチウェハまで
1バッチに4インチウェハ3枚まで可能


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キーワード(メーカー)サンユー電子・JEOL・真空デバイス・日立・アルバック・アネルバ・昭和真空
キーワード(品名)プラズマアッシャー・エッチング・イオンミリング・薄膜・スパッタ・アッシング・表面処理

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