スパッタ装置
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ファインコーター・日本電子（JEOL）・JFC-1600
（M2011…メーカー：日本電子（JEOL） 型式：JFC-1600 …
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イオンスパッタ装置・日立・E-1010
(M201126A14)イオンコーター・日立・E-1010
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クイックコーター・サンユー電子・SC-701C
（M201126A04…サンユー電子 クイックカーボンコーター
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イオンスパッタ装置・日立・E-1030
（M200305A05）メーカー：日立 型式：E-1030 …
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イオンスパッタ・日本電子（JEOL）・JFC-1100E
（M1909…イオンスパッタ、日本電子、JEOL
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スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）・日本電子（JEOL）・JUC-5000…
スパッタ装置、日本電子
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真空蒸着イオンスパッタ共用装置・サンユー電子・SVC-720
（M20…メーカー：サンユー電子 型式：SVC-720 …
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ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK<br>（M210108A26）
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ロータリーエバポレーター・EYELA（東京理化機械）・N-1200B
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イオンスパッタ・日本電子（JEOL）・JFC-1100E<br>（M190926A05）
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ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー）・アルバック・C…
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ディスプレイコントロールユニット（Display Control Unit）／ター…
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ターボ分子ポンプ・島津・TMP280<br> （M200714A15）
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フリップチップボンダー・東レエンジニアリング・FC3000<br>（M2010…
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冷熱衝撃試験機・エスペック・TSA-301L-W<br>（M210330A01）
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デジタル温湿度計、露点計・佐藤商事（Lutron）・HT-305
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マスクアライナー（露光装置）・ミカサ・MA-10<br>（M210408A01） …
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マニュアルワイヤーボンダー・K＆S・4124<br>（M210320A14）
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デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F<br>(M210108A17)
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イオンスパッタ装置・日立・E-1010<br>(M201126A14)
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産業用多関節ロボット・デンソーウェーブ
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マスクアライナー（露光装置）・ミカサ・MA-10<br>（M210408A01） …
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ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001C…
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ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400<br>（M210108A04）
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FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW<br>（M200131A01…
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オシロスコープ・テクトロニクス・TDS744A<br>（M210114A02）
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真空蒸着装置・アルバック・VPC-410A<br>（M200312A02）
