スパッタ電源 – DC電源 アルバック DCS0202A

スパッタリング=物理的気相成長法・PVD=の際に使用するDC電源=直流電源=は、金属膜をつけるスパッタ装置で採用されることが多い電源です。スパッタ電源にはRF電源=直流電源=の採用されますが、後者は高周波帯の交流電源で、絶縁体のターゲットに対しても成膜が可能です。その他、パルス電源・バイポーラ電源など様々な種類の電源を介しグロー放電により不活性ガスをプラズマ化させるのに用いられます。

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キーワード(メーカー):アルバック・シンクロン・NF回路設計・アドバンスエナジ―・インフィコン・アネルバ
キーワード(品名):DC電源・プラズマ電源・高周波電源・RF電源・パルス電源・マイクロ波電源

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