RF電源
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]…
メーカー：AD-TECH（アドテック） 型式：APR Series高周波電源／RFプラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
メーカー：IDX（現AD-TECH） 型式：IMG-2503S高周波電源／プラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や液晶製造…
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA30…
メーカー：モリエンジニアリング 型式：SFA300EXMOS-FET RFプラズマ電源 13.56MHz-0.3kW数kHzから数百kHz程度の周波数で一…
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A3…
メーカー：アルバック（京三） 型式：SC-7017SIⅡ1000V 15kWこの装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソー…
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M21…メーカー：アステック 型式：ARF-1053 在庫状況,…
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スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
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デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-…
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スクロールポンプ アルバック製（Ulvac）DIS-251
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
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DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
