RF電源
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]…
メーカー：AD-TECH（アドテック） 型式：APR Series高周波電源／RFプラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
メーカー：IDX（現AD-TECH） 型式：IMG-2503S高周波電源／プラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や液晶製造…
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA30…
メーカー：モリエンジニアリング 型式：SFA300EXMOS-FET RFプラズマ電源 13.56MHz-0.3kW数kHzから数百kHz程度の周波数で一…
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A3…
メーカー：アルバック（京三） 型式：SC-7017SIⅡ1000V 15kWこの装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソー…
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M21…メーカー：アステック 型式：ARF-1053 在庫状況,…
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
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CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製<br>型式：SMI…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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スクロールポンプ アルバック製<br>型式：DIS-500
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
