RF電源
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]…
メーカー：AD-TECH（アドテック） 型式：APR Series高周波電源／RFプラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
メーカー：IDX（現AD-TECH） 型式：IMG-2503S高周波電源／プラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源半導体製造や液晶製造…
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高周波発振器（RFプラズマ発振器） モリエンジニアリング製 型式：SFA30…
メーカー：モリエンジニアリング 型式：SFA300EXMOS-FET RFプラズマ電源 13.56MHz-0.3kW数kHzから数百kHz程度の周波数で一…
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高圧DC電源 アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A3…
メーカー：アルバック（京三） 型式：SC-7017SIⅡ1000V 15kWこの装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソー…
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RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M21…メーカー：アステック 型式：ARF-1053 在庫状況,…
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スピンドライヤー コクサン製（国産遠心機） H-840…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
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チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式：V…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
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多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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エアーコンプレッサー 日立製 CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
