メーカー：AD-TECH（アドテック） 型式：APR Series
高周波電源／RFプラズマ電源／マグネトロン電源／パルス電源
半導体製造や液晶製造、MEMS製造、太陽電池製造、プラズマ洗浄、鉄鋼・鍛造業界などで使用されます。また、新素材業界、食品製造、建材製造、木材乾燥、医用温熱治療、電子機器、自動車、ビニール融着などの産業分野での使用も増えています。プラズマ発生用の高周波電源は、高周波電界によりプラズマを励起させることで、プラズマを形成するイオンや電子を加熱することが可能です。高分子材料などの表面に照射することで、官能基の種類を選択したり、表面のラジカル種を制御したりすることで、機能性材料の開発にも利用されます。
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キーワード（メーカー）RFテクノロジー・ダイヘン・電通産業・高周波応用・IDX・AE・アドバンスエナジ―・AD TECH
キーワード（品名）真空蒸着・スパッタ装置・半導体製造装置・プラズマ電源・高周波電源・パルス電源・RF電源
