メーカー：エンジニアリングシステム 型式：EVN-5150HP
真空UV式インプリント装置
「微細転写装置／ナノインプリント装置」
ディスプレイ、次世代メディア、光学素子関連部材等を製作する為、微細モールドを使用し、熱転写あるいはUV転写することにより素材に微細形状を転写、超微小回路パターンなどを形成するナノインプリントを行う装置です。主に半導体の超微細回路パターンの形成などに使用されています。また、大学や研究所などの研究機関における研究や開発の目的での使用、生産の現場における条件や仕様に合わせた試作品を作るための使用も進んでいます。
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キーワード（メーカー）東レエンジニアリング・三井電気精機・日本レーザー・グローバルマシナリー・タツモ・プロダクトアイ
キーワード（品名）露光装置・マスクアライナー・スピンコーター・電子デバイス・半導体・レーザー・ボンダー・マウンター
