微細転写装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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