微細転写装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年6月
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