スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製（J…
オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
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パルス電源 AVTECH製
型式：AVH-SB-B （M210320A09） -
DATA GENERATOR（データジェネレータ）
テクトロニクス製 型式；DG2030 （M210320A05） -
ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製 TMU064/TCP121-[M220930A11]
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9N1-S-[M231120A21]
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紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製
型式：UB011-5A,B MH (M210119A02) -
スクロールポンプ エドワーズ製（Edwards）
型式：DS35i -
YVO4レーザマーカー キーエンス-KEYENCE MD-V9600
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YAGレーザーシステム Litron製 Nano-L 200-20-[M230314A11]
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純水製造装置オートスチル（蒸留水製造装置）ヤマト科学製 WS-33
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ヒートサイクル恒温器 エスペック SU-241
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選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製
型式：MS330A-OP01/02 （M210114A04） -
原子間力顕微鏡（AFM）Digital Instruments製 型式：Dimension8300 （M190922A04）
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オートファインコーター 日本電子製（JEOL）
型式：JFC-1300 -
マッチングボックス 日本電子製（JEOL）
型式：EH-MN01A （M210108A29） -
非常用発電装置 東洋電機製造
型式：YT-15CG -
カーボンコーター 真空デバイス製
型式：VC-100 （M210408A03）