非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製
型式：YP21-T0…
非接触形状測定装置、ソニープレシジョン、YP21-T07。
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500
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表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 YIS-SP
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パーティクルカウンター リオン製
型式：KC-01B （M200702A01） -
超純水製造装置 メルクミリポア製 AFS 8D -[M230423A01]
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LCRメーター HP製 型式：4261A
（M210320A15） -
DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303A05）
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ドライポンプ EBARA（荏原製）A07V – [M220408A08]
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スクロールポンプ エドワーズ製（Edwards）
型式：DS35i -
引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-1150 – [M231120A20]
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DC電源（直流電源）菊水電子製
型式：PAD70-15L （M210303A01） -
電気炉 石塚電機製作所 37825
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ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー） アルバック C30V [M210108A21]
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デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）
型式：AE1421 （M210114A05） -
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000／LK-H050
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冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械）CA-2600-[M220318A11]
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スピンコーター アクティブ製
型式：ACT-400AS （M201105A02）