マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A…
メーカー：ミカサ 型式：MA-20露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとする…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製（JOEL）JFC-1600
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実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ645
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恒温槽 エタック製（楠本製）TL-N001L-[M230309A02]
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS1500V-C
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701
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マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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パーティクルカウンター ベックマン HHPC 2+
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6軸ロボットアーム ファナック製（FANUC）LR Mate 200iD/7L [M230906A01]
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ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー） アルバック C30V [M210108A21]
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ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
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電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]
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ドラフトチャンバー ダルトン製
型式：DFV-12DK-12AAT -
ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式：MS-10 (M200919A07) -
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668
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恒温槽（防爆仕様）ナガノサイエンス製
型式：CH31-12M （M201217A08） -
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 YIS-SP