エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
分光エリプソメーター 楕円偏光解析装置 エリプソメーカー：溝尻光学工業 型式：DVA-36L3測…
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攪拌脱泡装置 マゼルスター クラボウ製
型式：KK-250S （M180906A07） -
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M240906A17]
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産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソーウェーブ VS060A3-AV6
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冷却水循環装置（空冷インバーターチラー）EYELA製（東京理化器械）CAE-2000S
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イオンクリーナー 日本電子製（JEOL）型式：JIC-410
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恒温槽 日測エンジニアリング BC-C5P-150
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS1500V-C
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放電加工機 パナソニック製 MG-ED82W-[M23014A14]
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パーティクルカウンター リオン製
型式：KM-33 （M200917A01） -
ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M210108A04） -
Thickness Monitor 日本電子製（JOEL）
型式：FC-TM10 -
多関節産業ロボット（6軸）デンソー製
型式：VP-6242-E/GM -
クライオポンプ アルバック製
型式：CRYO-U22H （M210108A34） -
パーティクルカウンター リオン製 KC-52 -[M23025A02]