冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS1500F-VW-…
メーカー：オリオン機械 型式：RKS1500F-VW冷却能力：4.30kW/4.65kW冷却能力：4300W/4650W(50/…
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ドライポンプ 荏原製作所 EV-A10-3
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） Model.1020-[M230725A02]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ウェハーマウンター 日東電工 M286N
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レーザー変位計 キーエンス LK-G3000／LK-G30
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プログラム交流電源 NF回路設計 ES10000S
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【セット品】ターボ分子ポンプ／コントローラー／接続ケーブル 大阪真空 TH162 ICF152フランジ
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レーザーマーカー パナソニック製（panasonic）LP-410TU-[M220607A67]
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ダイサー ディスコ DAD522