エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
分光エリプソメーター 楕円偏光解析装置 エリプソメーカー：溝尻光学工業 型式：DVA-36L3測…
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
環境試験機・乾燥機オーブン
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ドラフトチャンバー、遠心機、チラー、電子天秤
検査機・分析機器
各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
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コンプレッサー（オイルフリー）アネスト岩田製
SLP-37EBD-S5 [M221201A03] -
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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蛍光分光光度計 日立 F-4500
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真空蒸着装置 JEOL製（日本電子）
型式：JEE-420T （M201126A01） -
バイオクリーンベンチ ESCO製 型式：BCB-3E7 -[M221216a02]
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遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
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グローブボックス MBRAUN製 UNI lab plus 8964-[M230619A01]
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油拡散ポンプ（ディフュージョンポンプ） ライボルト製 DIP3000 [M200714A17]
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グローブボックス アズワン製（AS ONE）GB600-[M211224A08]
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パーティクルカウンター リオン製
型式：KM-33 （M200917A01） -
フリップチップボンダー 東レエンジニアリング製
型式：FC3000 （M201031A01） -
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製
型式：PAN600-2A （M201222A01） -
スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H – [M221028A01]
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701
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ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学 MF-90S-C
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エアーシャワー オリエンタル技研 CSA-100A-[M231212A08]