ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M2610…
メーカー：Messtek 型式：M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾ…
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産業ロボット
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真空蒸着装置、スパッタ装置、エッチング装置、CVD装置
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
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検査機・分析機器
各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
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耐電圧試験機 菊水電子工業製
型式：TOS8700 (M210114A11) -
実体顕微鏡 ニコン-Nikon C-PS
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ウェハーシートリング加工機 SMHP機工製 型式D-668-[M230410A03]
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分光エリプソメーター 大塚電子
型式：FE-5000 （M210108A07） -
中真空用バキュームゲージ 岡野製作所 AVG134C11
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ターボ分子ポンプ ファイファー製（PFEIFFER）
型式：TMU261 -
オシロスコープ テクトロニクス製
型式：2245A （M210320A08） -
膜厚コントローラー（Deposition Controller）
インフィコン製 型式：IC/5 （M210108A20） -
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]
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高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43Hi
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【セット品】ターボ分子ポンプ／コントローラー／接続ケーブル バリアン-Varian 9699001 S009
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チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製
クールライン 型式：CLH610 -
酸アルカリドラフトチャンバ オリエンタル技研
型式：AFG-ST-1200HC （M190326A13） -
マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製 PLA-600F -[M221028A02]
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カーブトレーザー テクトロニクス製 576-[M210617A15]
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E