スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
メーカー：ヤマハ(YAMAHA) 型式：YK600XG未来産業技研ではスカラーロボットのSGD'sに積極的…
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産業ロボット
ロボットアーム、スカラロボット、直行ロボット、搬送ロボット
半導体製造装置
半導体製造装置全般、電子デバイス製造装置全般
真空装置
真空蒸着装置、スパッタ装置、エッチング装置、CVD装置
真空ポンプ
ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ、スクロールポンプ
真空コンポーネント
真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
環境試験機・乾燥機オーブン
恒温槽、インキュベーター、恒温恒湿槽、電気炉
理化学機器・光学機器
ドラフトチャンバー、遠心機、チラー、電子天秤
検査機・分析機器
各種顕微鏡、分析装置、形状測定装置、外観検査装置
クリーン環境機器
クリーンベンチ、エアーシャワー、パーティクルカウンター、FFU
ユーティリティ設備
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701 MKⅡ – [M240310A05]
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エアーシャワー オリエンタル技研 CSA-100A-[M231212A08]
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M210108A04） -
レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス製 VK-8510 -[M230314A12]
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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ウエハー剥離装置 SemiconductorEquipmento製
型番：4800 （M190211A02） -
AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテクサイエンス） SPA-550Le-Type2
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Thickness Monitor 日本電子製（JOEL）
型式：FC-TM10 -
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M221221A04]
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ドラフトチャンバー ダルトン製
型式：DFV-12DK-12AAT -
パルスジェネレーター 岩崎通信機 – Iwtsu PG-230
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防爆オーブン エタック製（ETAC/楠本）HT-220S-[M230531A05]
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デジタル内視鏡（ハンドヘルド産業用ボアスコープ）
TESLONG製 型式：NTS300 -
実体顕微鏡 ニコン-Nikon C-PS
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ヘリウムリークディテクター ファイファー製
型式：HLT570 （M210416A01）