冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED2200A-VW
メーカー：オリオン機械 ORION 型式：RKED2200A-VW水冷式チラー ／冷却水循環装置冷却能力：9…
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS1500F-VW-[M240200A02]
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超純水製造装置 メルクミリポア製 AFS 8D -[M230423A01]
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ロータリーポンプ ライボルト製
型式：D16B （M200714A05） -
RF電源 アルバック RFS-005
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多関節産業ロボット（6軸）三菱電機製 型式RV-12SDC-S300 [M220528A15]
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クリーンルーム用掃除機 日立製
型式：CV-103E -
ドライ真空ポンプ（空冷式）荏原製作所製
型式：PDV250 -
ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]
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イオンスパッタ装置 日立製
型式：E-1010 (M201126A14) -
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701S-[M240524A01]
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超音波洗浄機 アズワン製
型式：ASU-6（M200703A01） -
RF電源（EB電源） 日本電子製（JEOL）
型式：JRF-750 （M210108A28） -
膜厚コントローラー（Deposition Controller）ライボルト（インフィコン）XTC/2-[M210108A19]
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-50
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樹脂材料タンク 松井製作所製
型式：TA-95L （M201223A02） -
マグネトロン真空ゲージ エドワーズ AIM-XL-NW25