エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
分光エリプソメーター 楕円偏光解析装置 エリプソメーカー：溝尻光学工業 型式：DVA-36L3測…
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プラズマCVD装置 サムコ製
型式：PD-220 （M210320A10） -
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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定温恒温槽（防爆仕様）ナガノサイエンス CH33-13P-[M240104A10]
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DATA GENERATOR（データジェネレータ）
テクトロニクス製 型式；DG2030 （M210320A05） -
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701 MKⅡ – [M240310A05]
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オシロスコープ テクトロニクス製
型式：TDS744A （M210114A02） -
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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真空蒸着装置 JEOL製（日本電子）
型式：JEE-420T （M201126A01） -
ダイアフラム式真空ポンプ アルバック製 DA-241SE – [M220528A19]
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クリーンベンチ（気流垂直型）日立製
型式：PVC-1301AE （M210108A10） -
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定子・接続ケーブル 一式
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ターボ分子ポンプ 大阪真空製
型式：TG800FVWB （M210108A27） -
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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3Ｄプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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恒温槽（乾燥機・オーブン）エスペック製PH-400-[M220904A01]