クリーンベンチ 日立製
型式；PCV1915BE2 （M210…
メーカー：日立 型式：PCV1915BE2 …
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レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス製 VK-8510 -[M230314A12]
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卓上防振台 特許機器製 TAP-34NS1-[M230704A10]
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ドラフトチャンバー ヤマト科学製 LDS150 -[M220620A02]
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真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-450D
（M201126A02） -
耐電圧試験機 菊水電子工業製
型式：TOS8700 (M210114A11) -
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-35/NT-35/65N
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） Model.1020-[M230725A02]
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電子負荷装置 菊水電子製
型式：PLZ150W （M180906A10） -
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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クリーンベンチ 日立製
型式；PCV1915BE2 （M210108A10） -
コーティング装置 SONO-TEK DES3000
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定子・接続ケーブル 一式
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樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所
型式：JL4-5VC-J （M201223A04） -
超音波洗浄機（卓上）ブランソン製（ヤマト科学）5510J-MT[M230325A01]
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ウェハーシートリング加工機 SMHP機工製 型式D-668-[M230410A03]
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]