エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15001…
メーカー：パイオニア風力機型式 - モーターブラシ：AM-CB型式 - 集塵フィルタ：PV1N-1500150型…
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ターボ分子ポンプ ライボルト製（Leybold）
型式：TW70H （M200714A14） -
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステム EVN-5150HP
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ターボ分子ポンプ ファイファー製
型式：TMH521P （M200707A04） -
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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金属顕微鏡 オリンパス-olympus BH2-UMA
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS602
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デジタル温湿度計/露点計 佐藤商事製（Lutron）
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ターボ分子ポンプ／コントローラー／接続ケーブル【セット品】ライボルト TURBO VAC 151
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EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製
型式：NEB-10W （M210108A25） -
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 – [M211206A03]
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スクロールポンプ エドワーズ製
型式：ESDP12 （M210114A18） -
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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スクロールポンプ エドワーズ ESDP12-[M240604A06]
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パルスジェネレーター 岩崎通信機 – Iwtsu PG-230