ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIF…
メーカー：ライボルト 型式：SOGEVAC SV40-65 BIFC 到達圧力：0.05mbar 真空速度：40㎥/h・48…
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ドライエッチング装置 ナノテック製
型式：NCP-400 （M210108A04） -
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP150-[M240320A02]
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オプティカルマルチメーター ANDO製（安藤）
型式：AQ2140 （M210320A03） -
RF電源 ダイヘン DRFS-5SA
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恒温恒湿槽 エスペック製
型式：PR-2KT （M201217A10） -
RF電源（プラズマ電源）アステック製
型式：ARF-1053 （M210320A06） -
スクロールポンプ エドワーズ製（Edwards）
型式：DS35i -
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII（現；日立ハイテクサイエンス） SPA-550Le-Type2
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ドラフトチャンバー ダルトン製
型式：DFV-12DK-12AAT -
ディスペンサーロボット（ペースト塗布装置）武蔵エンジニアリング SHOTmini 200DS
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パーティクルカウンター ベックマン HHPC 2+
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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ターボ分子ポンプ ライボルト製（Leybold）
型式：TW70H （M200714A14） -
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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多関節産業ロボット（6軸）デンソー製 型式：VP-6556-GM-B-CN