水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-7000
水晶式成膜コントローラー アルバック CRTM-7000膜厚コントローラー 薄膜コントローラー本機…
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ヘリウムリークディテクター アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-50
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]
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デジタル温湿度計/露点計 佐藤商事製（Lutron）
型式：HT-305 -
フリップチップボンダー 東レエンジニアリング製
型式：FC3000 （M201031A01） -
真空蒸着装置 JEOL製（日本電子）
型式：JEE-420T （M201126A01） -
ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式：MS-10DX (M200919A09) -
垂直多関節産業用ロボットアーム 川崎重工 BX-165L
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【セット品】ターボ分子ポンプ／コントローラー／接続ケーブル バリアン-Varian 9699001 S009
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製
型式：PAN600-2A （M201222A01） -
電子線マイクロアナライザー（EPMA）島津製
型式：EPMA-1600 （M210325A01） -
ヘリウムコンプレッサー 大陽日酸（鈴木商館）
型式：CCT-CK11003C（C103K） -
オプティカルマルチメーター ANDO製（安藤）
型式：AQ2140 （M210320A03） -
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター 日本レーザー電子 NL-OPC60N
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ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型 -[M221226A01]