真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
メーカー：大阪真空 型式：TG220FVAB PUMPING UNITメインポンプ（ターボ分子ポンプ）・補助ポ…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H – [M221028A01]
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レーザー変位計 キーエンス LK-G3000／LK-G30
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クイックコーター サンユー電子製
型式：SC-701C （M201126A04） -
真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace 300/TC110
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電気炉（マッフル炉）アドバンテック東洋 FUL230FA-[M240819A01]
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL) JFC-1300
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電子天秤 メトラートレド PG403-S – [M230629A06]
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実体顕微鏡 カールツァイス Stemi2000-CS
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超音波洗浄器 ブランソン 2510J-DTH
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産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソーウェーブ VS060A3-AV6
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ドライポンプ アネルバ V060HA
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ターボ分子ポンプ エドワーズ nEXT 240DL
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B