マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240310A…
メーカー：ミカサ 型式：MA-20露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとする…
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真空部品、ゲートバルブ、スパッタ電源、各種真空ゲージ
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ターボ分子ポンプ エドワーズ nEXT 240DL
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恒温恒湿槽 エスペック製 SH-641-[M240904A08]
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質量ガス分析計 インフィコン製
型式：TSPTT200 （M200714A35) -
デジタルマルチメーター アドバンテスト R6551
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選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製
型式：MS330A-OP01/02 （M210114A04） -
ルクスハイテスタ HIOKI製
型式：3422 （M181122A20） -
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL – 日本電子 SM-09010
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複合ガス検知器 MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR） PGM-54 篠原電機（RAE SYSTEM）
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ピーリングテスター（剥離強度試験器）
日本ガータ製 型式：NPT-100 （M210303A04） -
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace 300/TC110
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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産業用多関節ロボット 三菱電機製
型式：RV-4FL-1Q -
冷却水循環装置（空冷チラー）柴田科学 C-580
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]
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カーボンコーター 真空デバイス製
型式：VC-100 （M210408A03） -
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製
型式：SD60V II／PMB001CM （M210114A16）