ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製
型式：SD6…
中古のポンプで、ドライポンプ／メカブポンプとなります。樫山・アルバック製で型式はSD60V II…
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パーティクルカウンター リオン製 KC-52 -[M23025A02]
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圧縮空気温度調節装置 ナノサーモ オリオン機械 ACU600-MD
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液体窒素自動供給装置（窒素精製装置）JEOL製（日本電子）NS-200-[M221220A12]
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ドラフトチャンバー ヤマト科学製 LDS150 -[M220620A02]
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ドライポンプ 荏原製作所 EV-A10-3
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プラズマCVD装置 サムコ製
型式：PD-220 （M210320A10） -
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668
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質量ガス分析計 インフィコン製
型式：TSPTT200 （M200714A35) -
表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm – [M230314A01]
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ドライポンプ 樫山 NeoDry-30E
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ターボ分子ポンプ 大阪真空 TG220FCAB-[M241210A10]
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製
型式：YP21-T07 (M210108A12) -
RF電源 アルバック RFS-005