エリプソメーター　GAERTNER　L115 D

エリプソメーター　エリプソ　半導体ウェハ
メーカー：GAERTNER（ガートナー）　型式：L115 D
試料サイズ：max. 6インチ
干渉計　分光器　表面検査　薄膜膜厚計

エリプソメーターとは、光学特性を利用して薄膜の厚さや物質の光学常数を非接触、非破壊で測定する為の機器のことです。測定対象に対して斜めから光源より光を当て、反射した光をセンサーで受光し、偏光状態の変化を測定する事で測定対象の光学常数を定量化します。光学定数の測定とそれを基にした膜厚の測定が主な用途です。高精度に薄膜の厚さを測定する際に多用され、半導体製造工程での薄膜成膜後の測定や各種コーティング、レンズ等の光学膜の光学特性測定、膜を構成する物質の結晶化率、組成、光学異方性等が測定できます。

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キーワード（メーカー）大塚電子・アルバック・ガードナー・IBS・アイテック・ミワオプト・リソテック・プロダクトアイ
キーワード（品名）半導体ウェハ・ガラス基板・半導体レーザー・干渉計・分光器・反射率計・光度計・ヘリウム・ネオン

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