エリプソメーター

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
2025年7月
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