エリプソメーター
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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ロータリーポンプ アルバック製 D-950DK
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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