エリプソメーター

  1. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
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