エリプソメーター

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2024年10月
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