FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

走査電子顕微鏡(SEM)は試料表面の微細構造の観察及び分析装置として、バイオから半導体、エレクトロニクスまで、多岐にわたる分野で幅広く利用されています。様々な表面加工技術関連やその他すべての技術分野において、表面状態の観察をすることを必要とする場合に威力を発揮します。高倍率での観察ができ、焦点深度の深い立体的な形態観察が可能です。本機は、試料に電子線を当てて、試料表面の形態、微細構造を観察する装置です。電界放射型(FE)であるため、汎用のWフィラメントを用いたSEMに比べて高輝度、高分解能な像観察が可能です。また、セミインレンズ方式であるため、短焦点での観察が可能であり、高い分解能が得られます。

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キーワード(メーカー):日本電子・JEOL・日立ハイテク・島津製作所・リガク・キーエンス・ZEISS・カールッアイツ
キーワード(品名):電界放射型走査電子顕微鏡・FE SEM・TEM・透過電子顕微鏡・クイックコーター・X線分析装置

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