DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies EnerStream20

スパッタ電源　DC電源（DC POWER SUPPLY）
メーカー：EN Technologies
型式：EnerStream20
直流電源　OUTPUT:20kW（800V-50A）

スパッタ電源とは、薄膜を形成する技術であるスパッタリング装置に用いられる、プラズマを発生・維持させるための電源です。主にDC（直流）電源とRF（高周波交流）電源があり、成膜する材料の種類や品質に応じて使い分けられます。本機は、直流電源を使い、金属膜の成膜に用いられます。 アルミニウムやチタンなどの導電性ターゲットに適していますが、絶縁体ターゲットはチャージアップが起きるため成膜できません。RF電源においては、絶縁性のある材料に対しても成膜できるため、半導体製造などで広く使われています。

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キーワード（メーカー）ADL・日本電子・ALS・アネルバ・アルバック・芝浦メカトロニクス・京三・アドバンスエナジー
キーワード（品名）成膜・薄膜・半導体ウェハ・電子デバイス・高周波電源・パルス電源・スパッタ装置・CSD法・CVD

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