電離真空計　イオンゲージ　アネルバ　M-923HG

メーカー：アネルバ　ANELVA
型式：M-923HG
真空計コントローラー – 測定子　セット品

電離真空計は、フィラメント、グリッド、コレクタで構成され、フィラメントから飛び出した電子は何度か往復しながらグリッドへ向かい、その過程で電子が気体をイオン化していく。気体の圧力が高いほうがイオン化される分子、原子が多くマイナスにバイアスされたコレクタに流れ込み、その電流を測定することによって間接的に圧力を測定している。

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キーワード（メーカー）：アルバック・MKS・大亜真空・インフィコン・アネルバ・VISTA・佐藤真空・プロダクトアイ
キーワード（品名）：イオンゲージ・バラトロン真空計・真空蒸着機・ロータリーポンプ・スクロールポンプ・薄膜・真空排気