（株）未来産業技術研究所

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メーカー：インフィコン　　型式：IC/5

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クライオコンプレッサー　鈴木商館製<br>型式：C300K （M201116A01）

EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製<br>型式：NEB-10W （M210108A25）

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