株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：ANELVAアネルバ（ALCATELアルカテル）　型式：ASM110 TURBO CL

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検出感度：2×10^-11～1×10^-5atm・cm³/s［He]　　最大ポート圧力：10^-4mbar　　
排気系：ターボ分子ポンプ　　テストポート口：NW25KF

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キーワード（メーカー）インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード（品名）リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体

• heliumleakdetector

イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

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