ヘリウムリークディテクター アネルバ製(アルカテル)ASM110 TURBO CL-[M211130A06]


メーカー:ANELVAアネルバ(ALCATELアルカテル) 型式:ASM110 TURBO CL


検出感度:2×10-11~1×10-5atm・cm3/s[He]  最大ポート圧力:10-4mbar  
排気系:ターボ分子ポンプ  テストポート口:NW25KF


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キーワード(メーカー)インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード(品名)リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体

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