メーカー：神港精機 型式：POEM
平行平板型RIE方式のプラズマ表面処理装置
基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。対象物表面にプラズマを吹き付け存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行います。プラズマクリーナーは多くの産業で活用されていますが、特に半導体関連ではウエハーのレジスト除去やレジスト残渣除去などになくてはならない装置です。また、ICの組み立てでは、ワイヤーボンディングのクリーニングや強度向上のために使用されています。
https://www.shinko-seiki.com/products/181/
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キーワード（メーカー）真空デバイス・サンユー電子・サムコ・昭和真空・ノードソン・日立ハイテク・ムサシノ電子
キーワード（品名）薄膜作成・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・プラズマ処理・Au・Al・スパッタ装置
