株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：サンユー電子　　型式：SVC-720　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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RF電源（プラズマ電源）アステック製<br>型式：ARF-1053 （M210320A06）

真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）<br>型式：JEE-420T （M201126A01）

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