株式会社未来産業技術研究所

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メーカー：サンユー電子　　型式：SVC-720　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化機械）<br>型式：CA-1115 （M200408A04）

真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）<br>型式：JEE-420T （M201126A01）

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