vacuumdeposition
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膜厚コントローラー アルバック CRTM-7000
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電離真空計 イオンゲージ アルバック GI-TL3
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 – [M220930A01]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-708-[M230302A01]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701S-[M240524A01]
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クイックコーター サンユー電子製 SC-701-[M240310A06]
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ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)
型式:JEE-400 -
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M221221A04]
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真空蒸着装置・日本電子(JEOL)・JEE-450D
(M201126A02) -
真空蒸着装置 アルバック製
型式:VPC-410A (M200312A02) -
真空蒸着装置 JEOL製(日本電子)
型式:JEE-420T (M201126A01) -
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製
型式:SVC-720 (M200316A04)
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