vacuumdeposition

  1. 膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-7000

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701S-[M240524A01]

  8. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  9. ピラニー真空計　アルバック製　IS02-[M240200A03]

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701

  11. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JEE-400

  12. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

  13. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]
  14. 真空蒸着機、日本電子（JEOL）、JEE-450D

    真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-450D
    （M201126A02）
  15. 真空蒸着装置、アルバック、VPC-410A

    真空蒸着装置　アルバック製
    型式：VPC-410A （M200312A02）
  16. 真空蒸着装置

    真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）
    型式：JEE-420T （M201126A01）
  17. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製
    型式：SVC-720 （M200316A04）

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