vacuumdeposition

  1. ピラニー真空計　アルバック製　IS02-[M240200A03]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JEE-400

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]
  8. 真空蒸着機、日本電子（JEOL）、JEE-450D

    真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-450D
    （M201126A02）
  9. 真空蒸着装置、アルバック、VPC-410A

    真空蒸着装置　アルバック製
    型式：VPC-410A （M200312A02）
  10. 真空蒸着装置

    真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）
    型式：JEE-420T （M201126A01）
  11. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製
    型式：SVC-720 （M200316A04）

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