株式会社未来産業技術研究所
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品名:真空蒸着装置 メーカー:アルバック 型式:VPC-410蒸着装置は、減圧下で物質を気化させて対象物上に製膜する真空蒸着…
保護膜コーティング装置
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマクリーナー サムコ PC-300
RF電源 RFPP RF10S
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ