保護膜コーティング

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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