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保護膜コーティング
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FIB装置(集束イオンビーム装置)SII製<br>型式:SMI9200IW (M2001…
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ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製<br>型式:M…
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恒温槽(乾燥機オーブン)エスペック製(ESPEC)<br>型式:PHH-101
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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マッチングボックス 日本電子製(JEOL)<br>型式:EH-MN01A (M210…
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ターボ分子ポンプコントローラー(TURBOVAC MAG)<br>Leybold Vacuu…
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超音波発振器 カイジョー製<br>型式:4341i(M190211A01)
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保護膜コーティング装置 PIC製<br>型式:SCPICmini (M200305A01)
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オプティカルマルチメーター ANDO製(安藤)<br>型式:AQ2140 (M2…
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スクロールポンプ アルバック製<br>型式:DIS-501
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)