保護膜コーティング

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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