保護膜コーティング

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年10月
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