カーボンコーター カーボン蒸着機 真空蒸着機
メーカー：JEOL（日本電子） 型式：JEC-560
カーボン蒸着機とは、真空中で炭素（カーボン）を加熱・蒸発させて、試料表面に導電性や保護のための薄いカーボン膜を形成する装置です。主に、非導電性の試料を電子顕微鏡（SEM、TEM）や集束イオンビーム（FIB）加工時の保護膜、元素分析（EPMA、XMA）で観察・分析する際の前処理など、幅広い用途で利用されます。 試料に電荷が溜まるのを防ぎ、鮮明な画像を得たり分析の精度を高めたりする役割があります。 カーボンを蒸発させ、試料表面に数ナノメートル（nm）～数十ナノメートル程度の均一な薄膜を形成します。一般的なカーボン蒸着機（カーボンコーター）は低真空下で動作し、粒子が散乱することで凹凸のある試料にも回り込みやすく、簡便に一様な膜を作れます。高真空の蒸着機ではより高品質な膜が得られます。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・日立・日本電子・ALS・アルバック・サンユー電子・メイワフォーシス・アドサイエンス
キーワード（品名）薄膜作成・半導体ウェハー・プリント基板・SEM・TEM・FIB・EPMA・MEMS装置・スパッタ装置
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