sputtering

  1. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701

  2. イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230325A05]

  3. スパッタ装置(RFスパッタ)アネルバ製(ANELVA)SPF-430H-[M221028A01]

  4. イオンスパッタ装置 JEOL製(サンユー電子)型式:JFC-1500-[M220930A02]

  5. プラズマ処理装置(親水化処理装置)JEOL製(日本電子)HDT-400 [M221221A07]

  6. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-708-[M230302A01]

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  8. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2502-[M230622A05]

  9. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M221221A04]

  10. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550-[M220930A01]

  11. イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]