sputtering

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701-AT

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies EnerStream20

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – 日本電子　JEC-560

  10. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

  11. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]

  12. DC電源 – スパッタ電源　アルバック – ulvac　DCR1502A

  13. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  14. RF電源　ダイヘン　DRFS-5SA

  15. スパッタ電源 – DC電源　アルバック　DCS0202A

  16. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701 MKⅡ – [M240310A05]

  17. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  18. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  19. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  20. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

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