sputtering

  1. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  2. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310A06]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701

  4. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A05]

  5. スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M221028A01]

  6. イオンスパッタ装置　JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]

  7. プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-708-[M230302A01]

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　M26107/M25-10/MWP-A30XCA

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2502-[M230622A05]

  11. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M221221A04]

  12. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]

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