電力発生システムは、RF出力電力を供給するRF電力発生器です。高周波電源は直流電源等と同じく、高周波（電波）を出力するもので13.56MHz、27.12MHの固定周波数の電源は半導体のプラズマ隆起用に用いられます。
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キーワード（メーカー）：アルバック・AD-TECH・NF回路設計・アドバンスエナジ―・京三・アネルバ・AMAT
キーワード（品名）：DC電源・プラズマ電源・高周波電源・RF電源・パルス電源・マイクロ波電源・MKS
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