電離真空計 イオンゲージ IONIZATION GAUGE
メーカー：アネルバ 型式：M-922HG
圧力レンジ：1×10-9 ～ 1×10-2 Pa
接続ケーブル、測定子 一式
真空中の気体を電離させ、生成したイオンの数（イオン電流）を測定することで圧力を間接的に求める真空計です。熱陰極電離真空計と冷陰極電離真空計の2種類があり、特に高真空から超高真空領域の測定に用いられます。熱陰極電離真空計は、加熱したフィラメントから放出される熱電子を用いて気体を電離させます。冷陰極電離真空計は、真空中でプラズマ放電を起こし、放電で生じた電子を用いて気体を電離させます。
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キーワード（メーカー）：ファイファー・アズビル・島津・バルコム・アルバック・アネルバ・インフィコン・VISTA
キーワード（品名）：バラトロンゲージ・熱陰極電離真空計・冷陰極電離真空計・ピラニー真空計・ペニング真空計・クリスタルゲージ
キーワード（参考）：クリスタルゲージとは、水晶振動子の周波数変化を利用して真空度を測定する真空計です。大気圧から10⁻²Pa程度の真空度を、熱源を持たない安全性と優れた再現性で測定でき、半導体製造装置など幅広い産業や研究開発分野で利用されています。
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