株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ファイファー(PFEIFFER) 型式:HLT570
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1010
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
RF電源 RFPP RF10S
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
パルスユニット アルバック A2KH-25
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…