株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エドワーズ 型式:ESDP12
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械…
DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…