FIB装置(集束イオンビーム装置)SII製
型式:SMI9200IW (M200131A01)

FIB装置(集束イオンビーム装置)・SII・SMI9200IW

メーカー:SII  型式:SMI9200IW                                   


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集束イオンビーム装置は、きわめて細く集束したイオンビームを試料表面で走査することにより、発生した二次電子などを検出して顕微鏡像を観察したり、試料表面を加工したりすることのできる装置です。

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