半導体・電子デバイス製造ラインや食品加工ラインなど、さまざまな分野に使用できます。利用環境への汚染を避けなければなりません。スクロールポンプは排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長であることから、クリーンな環境が求められる用途に対してスクロールポンプが適しています。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・大亜真空・アンレット
キーワード（品名）：ドライポンプ・ダイアフラム式真空ポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
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