ulvac
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真空ゲートバルブ アルバック製(ulvac)VUGP-40
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ロータリーポンプ アルバック製
型式:GLD-136A (M201204A04) -
高圧DC電源 アルバック製(京三)SC-7017SIⅡ-[M210617A31]
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アングルバルブ ulvacアルバック製 型式 VULH40-[M210617A38]
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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ゲートバルブ VAT製 ICF114-[M230411A23]
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ダイアフラム式真空ポンプ アルバック製 DA-241SE-[M220528A19]
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ロータリーポンプ アルバック製(ulvac)DV301-[M220303A20]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36CU-026-[M220718A01]]
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP121-[M220930A11]