ulvac

  1. ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]

  2. 真空ゲートバルブ　アルバック製（ulvac）VUGP-40
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. ロータリーポンプ・アルバック・GLD-136A・M201204A04

    ロータリーポンプ　アルバック製
    型式：GLD-136A （M201204A04）

  5. 高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

  6. アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

  7. ゲートバルブ　HVA製　ICF114 & ICF86 & ICF70

  8. アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

  9. ゲートバルブ　VAT製　ICF114-[M230411A23]

  10. ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

  11. ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

  12. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

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