（株）未来産業技術研究所

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1. 

   ロータリーポンプ（油回転真空ポンプ）・アルバック（Ulvac）・GHD-030

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2. 

   スクロールポンプ・アルバック（Ulvac）・DIS-251

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3. 

   ヘリウムコンプレッサー（クライオコンプレッサー）・アルバック・C30V
   （M210108A21）

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4. 

   クライオポンプ・アルバック・CRYO-U22H
   （M210108A34）

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5. 

   クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H
   （M210320A04）

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6. 

   ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM
   　（M210114A16）

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7. 

   ロータリーポンプ・アルバック・GLD-136A
   （M201204A04）

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8. 

   スクロールポンプ・アルバック・DIS-500
   （M200414A05）

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9. 

   スクロールポンプ・アルバック・DIS-251
   （M200414A02）

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10. 

    ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK
    （M210108A26）

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