株式会社未来産業技術研究所

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ulvac

1. 

   真空ゲートバルブ　アルバック製（ulvac）VUGP-40

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   • 真空装置
2. 

   スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

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   • 真空ポンプ
3. 

   ロータリーポンプ　アルバック製
   型式：GLD-136A （M201204A04）

   • ロータリーポンプ
   • 真空ポンプ
4. 

   高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

   • RF電源
   • 半導体・電子部品装置
5. 

   アングルバルブ　ulvacアルバック製　型式 VULH40-[M210617A38]

   • 真空部品
   • 真空装置
6. 

   ゲートバルブ　HVA製　ICF114 & ICF86 & ICF70

   • ゲートバルブ
   • 真空装置
7. 

   アングルバルブ　VAT製　型式26328-KA01-[M230411A03]

   • ゲートバルブ
   • 真空ポンプ
8. 

   ゲートバルブ　VAT製　ICF114-[M230411A23]

   • ゲートバルブ
   • 真空装置
9. 

   ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック製　DA-241SE-[M220528A19]

   • ダイアフラムポンプ
   • 真空ポンプ
10. 

    ロータリーポンプ　アルバック製（ulvac）DV301-[M220303A20]

    • ダイアフラムポンプ
    • 真空ポンプ
11. 

    ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36CU-026-[M220718A01]]

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    • 真空ポンプ
12. 

    ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP121-[M220930A11]

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