膜厚コントローラー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2024年7月
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