イオンゲージ

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  3. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック製　SH-641-[M240904A08]
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2024年12月
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