イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

真空中の気体を電離させ、生成したイオンの数(イオン電流)を測定することで圧力を間接的に求める真空計です。熱陰極電離真空計と冷陰極電離真空計の2種類があり、特に高真空から超高真空領域の測定に用いられます。熱陰極電離真空計は、加熱したフィラメントから放出される熱電子を用いて気体を電離させます。冷陰極電離真空計は、真空中でプラズマ放電を起こし、放電で生じた電子を用いて気体を電離させます。

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キーワード(メーカー):ファイファー・アズビル・島津・バルコム・アルバック・アネルバ・インフィコン・VISTA
キーワード(品名):バラトロンゲージ・熱陰極電離真空計・冷陰極電離真空計・ピラニー真空計・ペニング真空計・クリスタルゲージ

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