ロータリーポンプ：油回転式真空ポンプ
メーカー：バリアン 型式：HS602
到達真空度：2×10-1Pa 排気速度：533L/min・634L/min
ロータリーポンプは操作や据え付けが簡単で手軽に使えるため、真空が必要であるが高真空までは必要とされない場面で幅広く使用されています。真空が必要な科学実験用装置等と組み合わせて使用します。また、超高真空を実現する際に初期段階の減圧 (粗引き) や、システム全体の背圧を維持するためのバックポンプとして使用されることも多いです。排気速度の大きさが役立っています。ロータリーポンプのコンパクトさと安定した性能が使いやすさの基盤となっており、多種多様な利用方法にフィットします。
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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・大亜真空・アンレット
キーワード（品名）：ドライポンプ・ダイアフラム式真空ポンプ・ターボ分子ポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ
