スクロールポンプ・エドワーズ(Edwards)・XDS35i

スクロールポンプ・Edwards・XDS35i

メーカー:エドワーズ(Edwards)型式:XDS35i                               


Edwards製の大型、最新のスクロールポンプです。

革新的なベアリング・シールド設計により、真空環境があらゆる潤滑油から隔絶。真空環境がまったく湿気のない状態となるだけでなく、完全に密封される。このシールドはベアリングをプロセス蒸気から保護する役割も果たす。調整式ガス バラストによって水蒸気の処理が可能となり、従来スクロール ポンプには不適切であった用途にも使用できるようになった。
インバータ・ドライブは、モータ特性を制御するとともに、ポンプの最適な運転速度を維持し、ユーザーによるポンプのリモート制御を可能とする。

以下Edwards様ホームページを参照願います。
https://shop.edwardsvacuum.com/products/a73001983/view.aspx                                                                                                                                             

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商品紹介:半導体製造装置、真空装置、ポンプ、計測器