RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

RF電源　高周波電源
メーカー：NRF（ノダRFテクノロジーズ）　型式：NR1N-15B
定格出力：1kW　周波数：13.56MHz
空冷式　プラズマ生成　発振器電力増幅器　マッチングユニット

RF電源（高周波電源）とは、無線周波数帯域（RF帯）の高周波電流を生成し供給する装置で、半導体製造のプラズマ生成（エッチング・成膜）、通信機器、医療機器、IHクッキングヒーターなど、様々な産業分野で利用され、特に半導体製造のドライエッチングでガスをプラズマ化するために不可欠です。DC電源と異なり、高い周波数で周期的に極性と出力が変化する交流電流を扱います。半導体製造装置などで、反応ガスをプラズマ状態にするためのエネルギー源となります。 

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