株式会社未来産業技術研究所

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rfpower

1. 

   高周波発振器（RFプラズマ発振器）　モリエンジニアリング製　型式：SFA300EX-[M210617A11]

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2. 

   高圧DC電源　アルバック製（京三）SC-7017SIⅡ-[M210617A31]

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3. 

   RF電源（プラズマ電源）アステック製
   型式：ARF-1053 （M210320A06）

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