高圧DC電源 アルバック製(京三)SC-7017SIⅡ-[M210617A31]


メーカー:アルバック(京三) 型式:SC-7017SIⅡ


1000V 15kW
この装置は、半導体製造装置・フラットパネルディスプレイ・ソーラーパネルなどの製造プロセス用直流電源です。
アークレスによるリアクティブスパッタにも対応しており、DC電圧の幅広い範囲で定格電力の供給が可能で、高速アーク遮断機能が不可欠な光学膜(SiO2,TiOx)、耐摩耗膜(SiOx,Al2O3) 及び透明伝導膜(ITO)の成膜に最適です。
RFシステムとのカップリングに対応します。


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キーワード(メーカー)アルバック・シンクロン・京三・エヌエフ回路設計・サンエー電機・高砂製作所・松定プレシジョン
キーワード(品名)スパッタ電源・RF電源・パルス電源・薄膜・真空蒸着・スパッタリング・マッチングボックス

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