DC電源

  1. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
2024年9月
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