メーカー：Messtek 型式：M26107/M25-10/MWP-A30XCA
ピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼び、この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性、さらに応答が非常に速く、寿命が長いことが最大の特長で、エンコーダーを利用し絶対的な位置情報を得ることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。ピエゾステージは微細な移動と位置分解能、精確な位置再現性、さらには応答が非常に速く、寿命が長いことが特長です。
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キーワード（メーカー）ピーアイジャパン・神津精機・メステック・エドモンドオプティクス・ニデック・ローム・ROHM
キーワード（品名）真空装置・半導体製造装置・圧電素子・スパッタ・CVD・セラミック・MEMS・リチウム・単結晶
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