圧電素子

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年10月
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