真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING UNIT-[M210701A02]


メーカー:大阪真空 型式:TG220FVAB PUMPING UNIT


メインポンプ(ターボ分子ポンプ)・補助ポンプ(油回転真空ポンプ)・バルブ配管・電気系などの必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
真空排気装置、真空排気システム、真空排気ユニット、真空排気セットともいう。


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キーワード(メーカー)真空デバイス・大阪真空・佐藤真空・VISTA・アネルバ・アルバック・プロダクトアイ
キーワード(品名)真空蒸着・CVD装置・スパッタ装置・半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板

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